SOx 生成主要源于三種過程，即煤、石油、天然氣燃燒過程，工業過程和天然形成等。燃燒產生的 SOx 起源于燃料中的硫，特別是其中的可燃硫，可燃硫在燃燒過程中向 SOx 轉化率幾乎是 100%
SOx主要以 SO2 為主 SO3 生成是很少量的，在完全燃燒條件下 生成 SO2 的同時約有 0.5%~2.0%的 SO2 將進一步氧化成 SO3 其轉化率隨燃料含硫量的增加而下降，其生成機理有兩種說法如下：
（1）氧原子的作用 即
（2）對流受熱面上積灰和氧化膜催化作用灰中的 V2O5 和金屬氧化膜中的 Fe2O3 都是 SO2生成 SO3的催化劑，此外氧化硅、氧化鋁、氧化鈉等也對 SO2 的氧化有一定的催化作用。
煤炭中的可燃硫有兩種，即有機硫(硫茂和硫醇)和黃鐵礦硫(FeS2) 煤受熱后，在熱解釋出揮發分同時，有機硫與無機硫也揮發出來，有機硫遇氧氣時，全部氧化成 SO2 而在還原性氣氛下揮發出的主要氣體 H2S(或COS) 經如下的動力學路線氧化成SO2 ； 焦炭中的硫可能與 H2 反應生成 H2S 也可能與氧反應生成 SO2 在還原性氣氛溫度小于 800 K以及足夠停留時間的條件下，無機硫將分解成 FeS、S2 和 H2S 它們再氧化成 SO2 和少量的 SO3。
生物質
顆粒燃料
如果采用生物質固體顆粒燃料（經
顆粒機壓制而成）就可以減少二氧化硫等硫化物的排放，是一種清潔環保的新能源。
